Se introducen las primeras válvulas de diafragma pilotadas. A la izquierda se ve una sección transversal de una válvula de diafragma presión/vacío. Posición operativa: válvula principal y válvula piloto cerradas. Tanto la válvula principal como la piloto son controladas por un diafragma. De esta forma no hay elementos sensibles ni se utilizan elementos que perturben el control operacional.

Los elementos funcionales de la válvula se operan "atmosféricamente,   es decir que no están en contacto con el medio, lo que asegura su operatividad con sustancias problemáticas (polimerización o sublimación)